产品描述
光电车间净化工程是指半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、模具等不同级别的电子厂净化车间或电子实验室。光学微电子净化工程,又称清洁室或无尘室,是精密制造、半导体、光学制造、液晶制造、电路板制造和制、生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近年来,由于技术的创新和发展,对产品的高精度和小型化的需求越来越迫切。例如,**大型积体电路的研究和制造已成为**在科技发展中非常重视的项目。根据行业标准,净化水平从10万到30万不等。净化程度也直接影响了电子产品的生产质量。
一、光学微电子净化工程一般包括哪些功能分区:
1.清洁生产区。
2.管理区(包括办公、值班、管理、休息等)
3.清洁辅助室(包括人员净化室、物料净化室、部分生活用室等)
净化车间的建筑材料通常采用质地坚硬、耐磨、无尘的材料,表面光滑,易于擦拭和清洁,在温湿度变化和振动下具有物理和化学稳定性。地面材料应具有耐腐蚀性。
洁净度测试
1.目的:确认室内粉尘量是否符合国家规定。
2.测量仪器:微粒子测量器加取样头。
测试方法:测量高度距地板1.2米,每点三次取平均值,每3米移动一点,记录平均值,以所有点的平均值作为室内清洁度分析,确定是否符合允许标准。
4.洁净度异常:
(1)当风速和风量符合要求时,检查试验点是否为气流死角,必要时引导气流通过试验点。
(2)检查滤网是否损坏。
(3)检查HEPA与设备之间是否有气流短循环。
(4)清洁工作是否履行职责。
(5)测试区域内是否有粉尘设备。
(6)在风量不足的情况下增加风量(改变风车转速或更换漏网,减少压损)。
(7)检查回风量是否足够。
(4)室压试验。
1.目的:防止污染物从外界进入无尘室。
2.测量仪器;微压计。
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