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洁净度测试

1.目的：确认室内粉尘量是否符合国家规定。

2.测量仪器：微粒子测量器加样头。

测试方法：测量高度距地板1.2米，每点测量三次，每间隔三米移动一点，记录平均值，分析所有点的平均值，确定是否符合允许标准。

4.洁净度异常：

（1）检查试验点是否为气流死角，必要时引导气流通过试验点。

(2)检查滤网是否损坏。

(3)检查HEPA与设备之间是否有气流短循环。

（4）清洁工作是否负责。

(5)试验区是否有除尘设备。

(6)在风量不足的情况下增加风量(转速或更换漏网，减少压损)。

(7)检查回风量是否足够。

(4)室压试验。

1.目的：防止污染物从外界进入无尘室。

2.测量仪器；微压计。

3.测量方法：

(1)室压较大者接+，室压较小者接-。

(2)两端管道归零调整。

(3)将两端放入待测室压力。4.调整:

(1)调整MAU送风量。

(2)减少室内排气量。

(5)层流测试。

1.目的：调整气流方向为单向，使HEPA出口的清洁空气用于工艺。

2.测量仪器：层流测试架及丝线。

我没**会参加这个测试，也没有详细讨论。

(6)照度测试。

1.目的：测试照度是否符合生产要求。

2.测试仪器：照度计。

3.测量方法：

(1)测量区域至少使用100小时，测量前2小时点亮。

(2)每0.6平方米取一点测量。

(3)测量高度为760mm。

4.调整：若不符合要求，在保证美观的同时安装无尘室灯具。

(7)温湿度测试。

1.目的；测量无尘室内环境是否符合设计要求。

2.测量仪器：温度、湿度计。

3.测量方法：

(1)已运行24小时以上，每间房至少取一点。

(2)测量高度距地面1.2米。

(3)每点测试三次，取平均值，看温度和湿度是否符合要求。

4.改进与调整：

(1)检查气密是否严格按规定执行。

（2）检查室内是否有发热或产湿设备。

(8)噪声测试。

1.目的：将噪声测量并限制在人体所能承受的范围内。

2.测量仪器：噪声计或音频分析仪。

3.测量方法：

(1)每40平方米取一个测试点。

(2)离墙至少0.9米。

(3)离地面1.5米，无人为干扰测量。4.改进和调整:

(1)噪声值过高，允许风速时调整FFU转速，降低噪声。

(2)增加吸声设备或设施。

(9)回复能力测试。

1.目的：测试无尘室断电后的清洁恢复时间。

2.测试仪器：微粒测定器。

3.测试方法:(过程非常简单)

停止室内FFUA或RCU送风，使室内0.5UM以上的灰尘颗粒达到室内要求等级的十倍。

然后打开FFU或RCU开始送风，同时测量室内粉尘浓度，记录值和时间，每6秒一次，直到达到室内无尘室设计等级要求。